분석실정보
위치 : 서울테크노파크 1층 S-FAB Center
책임연구원 : 박종경교수
전화번호 : 02-970-9795
보유장비
| 기기명 | 기기약어 | 담당자 | 상태 | 예약현황 | 신청하기 | ||
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한글명 | 금속 및 산화물 스퍼터장비 | SPUTTER | 박종경 | 02-970-9795 s-fabcenter@seoultech.ac.kr |
정상
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| 영문명 | Metal and Oxide sputtering System | ||||||
 PVD, Sputter, 스퍼터
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한글명 | 스핀코터 | SPC | 박종경 | 02-970-9795 s-fabcenter@seoultech.ac.kr |
정상
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| 영문명 | Spin Coater | ||||||
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Spin Coater, 스핀코터, Spin Coating
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한글명 | 얼라이너 | ALG | 박종경 | 02-970-9795 s-fabcenter@seoultech.ac.kr |
정상
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| 영문명 | Aligner System | ||||||
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Litho, Lithography, Aligner, 얼라이너
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한글명 | 열원자층 증착장비 | Thermal ALD | 박종경 | 02-970-9795 s-fabcenter@seoultech.ac.kr |
정상
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| 영문명 | Thermal Atomic layer Deposition System | ||||||
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Thermal ALD, 열원자층 증착, ALD, Thermal Atomic Layer Deposition
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한글명 | 웨이퍼급속열처리(진공오븐)시스템 | RTA | 박종경 | 02-970-9795 s-fabcenter@seoultech.ac.kr |
정상
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| 영문명 | Rapid Thermal Annealing System | ||||||
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RTA, Thermal Annealing, Rapid Thermal Annealing, Vacuum oven, 진공오븐, 급속열처리
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한글명 | 웨이퍼식각기시스템(마스크클리너, 습식) | WETST | 박종경 | 02-970-9795 s-fabcenter@seoultech.ac.kr |
정상
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| 영문명 | Wet Station | ||||||
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마스크클리너, Wet bench, Wet station
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한글명 | 유도결합플라즈마화학기상증착장비 | ICP CVD | 박종경 | 02-970-9795 s-fabcenter@seoultech.ac.kr |
정상
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| 영문명 | ICP CVD | ||||||
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ICPCVD, CVD, 유도결합플라즈마화학기상증착, 플라즈마
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한글명 | 전기도금장비 | EPD | 박종경 | 02-970-9795 s-fabcenter@seoultech.ac.kr |
정상
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| 영문명 | Electro Plating System | ||||||
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도금, 전해도금, Electroplating, EPD
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한글명 | 플라즈마강화 원자층 증착장비 | Plasma ALD | 박종경 | 02-970-9795 s-fabcenter@seoultech.ac.kr |
정상
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| 영문명 | Plasma Enhanced Atomic layer Deposition System | ||||||
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ALD, Atomic layer, Atomic layer Deposition, 플라즈마 원자층 증착
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