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주사전자현미경2(Scanning Electron Microscope 2)사진1
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주사전자현미경2
Scanning Electron Microscope 2
  • 분 석 실주사전자현미경실
  • 담 당 자김보경
  • 연 락 처02-970-7256
  • 제 조 국독일
  • 제 조 사Carl Zeiss
  • 취 급 처주식회사 칼자이스
  • 구입일자2018.06.27
기기예약일정기기예약신청주사전자현미경2기기 관련 자료가 없습니다.
주사전자현미경2 기기상세정보
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직접사용자 교육 후 장비오픈
모델
EVO10
원리
장비의 전자빔을 이용하여 시료 표면에서 검출되는 이차전자로 나노수준의 미세조직 및 구조를 관찰하고,
미세입자의 크기 및 형태 등을 분석하며, 표면의 거칠기도 이미지로 관찰할수있다. 또한 에너지분산분석기(EDS)를 부착하여 시료의 정성,정량 분석과 구성원소의 분포 확인 등을 할 수 있는 장비로써 이공계분야에 필수적이다.
금속, 무기재료, 반도체, 세라믹, 고분자, 생물 등 광범위하게 활용되어 대학 학부과정의 실험,실습교육과 졸업연구, 캡스톤디자인, 대학원생의 논문연구 및 교수의 R & D는 물론이고 산업체의 고장분석, 연구개발에도 공동으로 활용할 수 있다.
규격
1. 이미지 분해능
- 2nm @ 30kV, 6nm @ 3kV, 9nm @ 1kV
2. 배율 : 7x ~ 1,000,000x
3. Electron optics
1) Electron gun type : LaB6
2) 가속전압 : 0.2 ~ 30kV
3) 탐침 전류 : 0.5pA ~ 5㎂
4) 검출기
- 고감도이차전자검출기 : 콜렉터 바이어스 –250V ~ +400V
- 4분할 후방산란검출기 : 1kV, 16mm다이오드
4. 챔버 및 스테이지
1) 챔버
- 내경 : 310㎜(내경) × 220㎜(높이)
- 포트 : 챔버 및 도어 포트는 총8개
2) 스테이지
- 5축 전동 스테이지
- X=80mm, Y=100mm, Z=35mm, T=-10°~90°
용도 및 응용분야
본 장비가 분석가능한 시료로서는 금속, 입자, 무기재료, 반도체, 세라믹, 고분자, 생물 등이 있으며 박막두께측정, 분말입자 사이즈 측정, 금속결정입자확인, 시표표면의 거칠기확인 등 광범위하게 활용된다. 또한 부착된 에너지분산분석기(EDS)를 이용하여 샘플 내에 존재하는 성분의 정성,정량분석과 해당영역의 성분분포도를 확인할수 있다.
따라서 대학 학부과정의 실험,실습교육과 졸업연구, 캡스톤디자인, 대학원생의 논문연구 및 교수의 R & D는 물론이고 산업체의 고장분석, 연구개발에도 공동으로 활용할 수 있다.
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