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고분해능주사전자현미경(High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope)사진1
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고분해능주사전자현미경
High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope
  • 분 석 실주사전자현미경실
  • 담 당 자김보경
  • 연 락 처02-970-7256
  • 제 조 국일본(Japan)
  • 제 조 사Hitachi High Technologies Corporation
  • 취 급 처㈜이공교역
  • 구입일자2016.02.01
기기예약일정기기예약신청고분해능주사전자현미경기기 관련 자료가 없습니다.
고분해능주사전자현미경 기기상세정보
모델
SU8010
원리
전자총(Electron gun)에 전압을 걸어 방출된 전자빔이 경통(Column) 내부의 여러 경로를 통해 시료의 관찰영역에 주사될 때 입사전자와 시료를 구성하고 있는 원자와의 상호작용에 의해 발생되는 여러 가지 신호 중 이차전자(Secondary electron) 혹은 후방산란전자(Back scattered electron)를 검출하여 시료의 표면을 관찰·분석하고, Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS)를 이용하여 시료의 정성·정량 분석 및 화상분석(면, 선, 점 분석 및 화합물 분석)을 할 수 있다.
규격
· Electron gun : Cold cathode field emission source
· SEI Resolution
- 1.0㎚(Vacc 15㎸, WD=4㎜)
- 1.3㎚(landing voltage 1㎸, WD=1.5㎜)
· Magnification
- Low mag mode : 20~2,000×(Magnification on Photo)
60~25,000×(Magnification on display)
- High mag mode : 100~800,000×(Magnification on Photo)
300~2,000,000×(Magnification on display)
· Accelerating voltage : 0.5㎸ to 30㎸(standard mode)
· Landing voltage : 0.1㎸ to 2.0㎸(Deceleration mode)
· Traverse range : X=0~50㎜, Y=0~50㎜, Z=1.5~30㎜, R=360°, T=-5~70°
· Max. sample size : 100㎜ dia.
· Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS)
- Detector type : SDD(Silicon Drift Diode) 30㎟ active area
- Peak resolution : 127eV @ Mn standard
- Detectable elements : Be(4)~U(92)
용도 및 응용분야
나노수준의 미세조직 및 구조를 관찰하고, 미세입자의 크기 및 형태 등을 분석하며, Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS)를 이용하여 시료의 정성·정량 분석 및 화상분석(면, 선, 점 분석 및 화합물 분석)을 할 수 있는 장비로써 이공계분야에 필수적이며, 금속, 무기재료, 반도체, 세라믹, 고분자, 생물 등 광범위한 분야에 활용된다.
구성품
· Main/Display unit
· Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS)
· Ion sputter coater
· Anti-vibration system
· Closed water recirculator for obj. lens cooling etc.
성능
· SEI Resolution
- 1.0㎚(Vacc 15㎸, WD=4㎜)
- 1.3㎚(landing voltage 1㎸, WD=1.5㎜)
· EDS
- Peak resolution : 127eV @ Mn standard
- Detectable elements : Be(4)~U(92)
사용료
교내(직접사용)
교내(분석의뢰)
·기기사용료 : 70,000원/시간(교내 50%)
·전처리
- Pt coating : 15,000원/회
- Au coating : 10,000원/회
- C coating : 5,000원/회
·EDS
- 정성분석 : 5,000원/회
- 정량분석 : 8,000원/회
- Mapping/Line profile : 10,000원/회
※ EDS 분석시 HR FE-SEM 관련
비용 별도
교외
·기기사용료 : 140,000원/시간
·전처리
- Pt coating : 15,000원/회
- Au coating : 10,000원/회
- C coating : 5,000원/회
·EDS
- 정성분석 : 5,000원/회
- 정량분석 : 8,000원/회
- Mapping/Line profile : 10,000원/회
※ EDS 분석시 HR FE-SEM 관련
비용 별도
협약단체
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